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如果不是新機床或者機床進過大量的加工沒有進行調試的情況下，會出現機床本身所造成的尺寸誤差。造成機床本身誤差有以下幾個因素：
1. CNC加工數控機床的日檢
其主要項目包括液壓系統、主軸潤滑系統、導軌潤滑系統、冷卻系統、氣壓系統。日檢就是根據各系統的正常情況來加以檢測。例如，當進行主軸潤滑系統的過程檢測時，電源燈應亮，油壓泵應正常運轉，若電源燈不亮，則應保持主軸停止狀態，與機械工程師聯系。進行維修。
2. CNC加工數控機床的周檢
其主要項目包括機床零件、主軸潤滑系統，應該每周對其進行正確的檢查，特別是對機床零件要清除鐵屑，進行外部雜物清掃。
3. CNC加工數控機床的月檢
主要是對電源和空氣于燥器進行檢查。電源電壓在正常情況下額定電180V-220V，頻率50Hz，如有異常，要對其進行測量、調整。空氣于燥器應該每月拆一次，然后進行清洗、裝配。
4. CNC加工數控機床的季檢
季檢應該主要從機床床身、液壓系統、主軸潤滑系統三方面進行檢查。例如，對機床床身進行檢查時，主要看機床精度、機床水平是否符合手冊中的要求，如有問題，應馬上和機械工程師聯系。對液壓系統和主軸潤滑系統進行檢查時，如有問題，應分別更換新油6oL和20L，并對其進行清洗。
5. CNC加工數控機床半年檢
半年后，應該對機床的液壓系統、主軸潤滑系統以及X軸進行檢查，如出現毛病，應該更換新油，然后進行清洗工作。 全面地熟悉及掌握了預防性維護的知識后，還必須對油壓系統異常現象的原因與處理有更深的了解及必要的掌握。如當油泵不噴油、壓力不正常、有噪聲等現象出現時，應知道主要原因有哪些，有什么相應的解決方法。
系統參數方面可進行PMC恢復，所以略去不提。
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